半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
的项目背景图片
该商家为高度当先的半导体设备测封商家,建在珠江三角型地区划分,常见做好中档工作器的片区和封口检验。在当地人绿色标准坚持原则,商家决心试行电镀废水达标排放口施工。大型项目于22年重启,202四年6月成立投入使用,工作产值为200吨/日,总融资约2000十万。
废水处理方法有效成分及起源
本次必要性片区废气还具有下类结构特征:
高溶度氟化物,主要是存在晶圆切后的擦洗工步,氟铝离子溶度自由高达150-200mg/L
含nm级硅粉颗粒剂,颗粒直径多在100-500nm两者之间
无机功率较高,COD在500-800mg/L
包含轻微血本属如铅、镉等
纯水电导率高,一般说来在2000-3000μS/cm
鑫霖环保设备具体流程
为变现无废气排放出目的,的工艺流程的概念侧重点满足废渣划分收藏和信息回收公司:
废污水类别采集而来系统性
:将含氟化工化工废水与其它的化工化工废水离婚汇集
物理化学积淀除氟
:利用二级钙盐沉定法,配合默契高效率沉定池
初级钝化操作
:臭氧老化催化剂的作用钝化可降解难加工有机化学物
膜溶缩操作系统
:分为DTRO碟管式反渗透设备工作会更,溶缩数倍为10倍
多效蒸发沉淀
:MVR机械厂液体再减小蒸发掉器进行处理浓水
干燥的系统性
:将成果盐吹干后算作企业副产的外售
补救治疗效果
系统软件电脑运行资料显示信息:
氟化物避开率>99.9%,出水量氟铁离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,水流COD<20mg/L
水土资源的二手回加标回收率>95%,仅发生一少部分沉淀盐
年年可收回高高质量中水回用水约5万吨
凝结盐含量达标化学工业级要求,进行的循环经济运用
该项目不止保持了焦化废水零尾气排放标准,还完成市场出售创立了约80万是/年的另外价值。