某半导体器件厂在种植过程中中动用硝酸铵系显影液液，形成高质量浓度含NOx焦化废水，日补救量50吨。焦化废水下含NO2-可以达到2000mg/L，且具有刺激性轻微有机的光刻胶材料，补救分值极大。 2. 生活污水成分表及来源于 定影步骤废气（具体影响源） 晶圆清洁化工废水 废气排放洗滌塔排水道 3. 工作工艺设计标准流程 进行"高等级空气氧化+两极生物技术加工"信息化加工： 老化氧化的 ：采用臭氧的危害突发器引起O3，将难可降解设计物分析为小碳原子材质，互相将NO2-硫化为NO3-。 生物制品膜反响器（MBR） ： 第一点级：缺养周围环境下加药系统甲醇为碳源，促使反硝化反映反映 然后级：好氧菌物膜进1步光降解有机会物 电化学分析上厚度处里 ：使用钛基镀层探针，按照钛电极用途徹底分解掉残留危害物。 4. 最中功能 NOx总氮下降8mg/L这 COD安稳在30mg/L球以内 废水处理工艺回收利用率达60% 软件系统运转用电量调控在3.5kWh/吨水，较民俗加工制作工艺 节能减排20%。