该晶圆制造技术厂建在华中城市,核心的生产销售8屏幕尺寸半导体设备晶圆,平均废水处理工艺释放量下跌约800吨。鉴于的生产销售时候中适用广泛氢佛酸实现晶圆蚀刻,出现废水处理工艺中氟化物浓度值高达独角兽200-300mg/L,远超國家释放标准(10mg/L低于)。
污水材料及从何而来
废渣关键来源三种部分:
晶圆蚀刻生产工序
:含高渗透压氟化物(HF)、硝酸铵及几瓶巨资属
物理化学机械性打蜡 (CMP)焦化废水
:含微米级硅颗粒状、设计络合剂
仪器清理工业废水
:含异丙醇、氯离子等生产物
处理工艺方法方法
通过"普通机械乳浊液+混疑乳浊液+淬硬层吸附"二级进行处理控制系统:
1级处理
:污泥脱水氯化钙和氢阳极氧化钙,形成了氟化钙滤渣,氟化物出掉率达85%
五级处理
:“添加PAC(配位聚铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),出掉橡胶胶体部分态环境环境有害特性
三级视频操作
:能够多材质吸出性炭滤芯过滤器和吸出性炭吸出,出水出水氟化物质量浓度维持在8mg/L之下
根本设配以及:pH半自动调试装置、斜管放置池、板框压滤机厂家(污水甩干)。
最后作用
工作运作十年监测方案动态数据表示:
氟化物均衡氨水浓度:7.2mg/L(少于各国条件)
COD剔除率:92%
飞灰含水分率:≤65%
年环保再生资原回收氟化钙副服务约150吨,保证 资原化运用