该厂为85英寸晶圆生产的线配合的超去离子水整体，日常造成含硅重工业废水150吨。重工业废水下虽无天价属，但硅占比高易水垢，且内阻率需到达18MΩ·cm方能循环。原本有加工艺就没有办法满足了新制定的《光学重工业水影响物废气排放物规定》（GB39731-2020）特别的废气排放物卫生防护距离。 污水营养成分优势特点 具体影响物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（孔径0.1-1μm） 特色需要 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水硬度因素 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质型态繁琐 净化处理工艺设计流程图 全新用到"梯级膜分离处理+电去阴阳离子"組合工艺设计： 微滤预治疗 ：1μm陶瓷厂家膜阻止大科粒硅，通量稳定80LMH 亚铁离子对换环氧树脂 ：D201大孔树脂材料会目的性过滤硅酸氧分子 2级RO平台 ：第一点段回收处理率60%，其次段选取高脱硼膜构件 EDI电去阴离子 ：工作电流导热系数2A/m²，持继避开残留物正离子 太阳光的紫外线除臭 ：254nmUV直射线标准容量40mJ/cm² 技术工艺优点 规划设计专用的阻硅剂（有机会胺类塑料物），廷缓膜水污染周期怎么算3倍 EDI板块转型升级流道设计，硅快速清理率增加至99.8% 手机在线硅分享仪（測量依据0.1-500μg/L）建立精准性的调整 开机运行认真总结 经3、方检则： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含水量从8μg/L高于0.3μg/L 系统软件回收并率从原40%发展至68% 膜调换寿命延时至5年，年程序运行成本投入较低35%