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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料IC芯片打造厂在晶圆手工加工具体步骤中,运行硅烷做好硅外加种植,空气清洗塔所产生高有机废气浓度含硅废液。废液兼有pH上下波动大(2-11)、硅占比高的特性,传统意义治理方案易造成硅垢梗塞毛病。 污水化学成分及特征 废污水关键成份为: 融解性硅酸盐 :SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 氢硫化钾/氢硫化钠 :洗衣塔碱酸洗衣液残渣 粉末硅 :纳米技术级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原材料沉淀物带 整理新工艺步骤流程 自主创新按照"有级采和+膜脱水+挥发晶粒"流程: 一級结合 :用CaO调pH至4-5,转成硅酸钙沉垫,硅我们要除率60%。 二次与 :加Na₂CO₃将pH优化至9,进一部沉定剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透装置系统化 :0.02μm卫浴陶瓷膜滤水纳米技术级硅颗粒剂,通量平衡在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :精提高盐污废水 ,沉淀出Na₂SO₄副商品,水造纸废水处理率超90%。 进而感觉 总硅从1500mg/L减少为5mg/L之下 砷含水量从0.8mg/L高于0.01mg/L 机系统无水垢运动多于2年 每季度回收利用氢氧化钾钠硫化锌约800吨

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