某半导体材料IC芯片打造厂在晶圆手工加工具体步骤中,运行硅烷做好硅外加种植,空气清洗塔所产生高有机废气浓度含硅废液。废液兼有pH上下波动大(2-11)、硅占比高的特性,传统意义治理方案易造成硅垢梗塞毛病。
污水化学成分及特征
废污水关键成份为:
融解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
氢硫化钾/氢硫化钠
:洗衣塔碱酸洗衣液残渣
粉末硅
:纳米技术级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原材料沉淀物带
整理新工艺步骤流程
自主创新按照"有级采和+膜脱水+挥发晶粒"流程:
一級结合
:用CaO调pH至4-5,转成硅酸钙沉垫,硅我们要除率60%。
二次与
:加Na₂CO₃将pH优化至9,进一部沉定剩余时间硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透装置系统化
:0.02μm卫浴陶瓷膜滤水纳米技术级硅颗粒剂,通量平衡在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:精提高盐污废水 ,沉淀出Na₂SO₄副商品,水造纸废水处理率超90%。
进而感觉
总硅从1500mg/L减少为5mg/L之下
砷含水量从0.8mg/L高于0.01mg/L
机系统无水垢运动多于2年
每季度回收利用氢氧化钾钠硫化锌约800吨