某半导打造中小企业因晶圆的清洗程序生成含氨生活污水，排水量200吨/天。生活污泥中除化学需氧量外还包含有氟化物和进样器天价属，除理高难度大。立即排污规范符合要求化学需氧量＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污废水 含量及收入 晶圆难以清理电镀废水（包括特征）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺废水处理方法：含少量铜、镍等天价属，pH值下降大 CMP打磨工业废水：含硅粒状及氟化物 治理工序的流程 所采用"化学式沉淀自己+膜分离处理+折点氯化"结构工艺设计： 预加工处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，的控制pH在7.5-8. 超滤膜系统的 ：删去0.01μm不低于粉末物 反参透萃取 ：将化学需氧量果汁至1000mg/L超过 折点氯化 ：精准度设定氯污泥脱水量，将氯离子应用为氦气 铝离子传递 ：的保障高价属达到 然后结果 化学需氧量平稳＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属硫含量达不到查重限 水中水回用率达75% 污水产生量变少40%