西安某半导正确办理器精加工精加工厂，晶圆精加工进程中生成含硅、氟的独特化工废水办理技巧，结构设计正确办理规模性1200吨/日。化工废水办理技巧材料很复杂，带有納米级硅颗粒状及氢佛酸，中国传统正确办理技巧不易于达到。 废水处理方法营养成分及来源于 一般污染问题物 ：电解质溶液硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 主要来源工艺 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP电学机打蜡 生活污水（40%）、设备洗水（15%） 解决新工艺标准流程 信息化通过"催化奠定+防化膜分離"技术应用交通路线： 钙盐结晶 ：添加氯化钙除去氟阴阳离子（自动生成CaF2发展） 斜管沉淀池不良反应 ：混合二沉池剂推动胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜公款私存微细颗粒状 反进行渗透设计 ：脱盐率>98%，收售率75% 蒸发器析出 ：浓水段控制氟化物零污染物 终结效用 氟化物浓度值：<8mg/L（不高于國家三级标准的10mg/L） 硅成分：<5mg/L 水教育资源回收利用率：70%应用在待混凝土冷却塔补水保湿 危险废弃物缩短：蒸馏食物残渣量较民俗艺缩短60%