半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件品质测封生活配套涉重废污水——MVR被迫再循环零排工程
产品蓝本
半导品质公测顶目,数量150m³米/天,是第一家半导公测配套方案涉重污水零排顶目。公测教学环节的镀镍、镀铜、引线方框难以清理会有含镍含铜污水,园林标准"无尾水外排",产水彻底使用于产线。
饮用水共同点与思路
化工废水以含镍为主导(氧化还原电位10–100毫克/升),伴几瓶铜、锌,pH浮动大(2–12),更有光刻胶留的几瓶有机化学物。公测厂区域紧,想要治疗安全设施占地赔偿小;零排暗示着浓水没有清运太少,必要当地化掉晶粒闭环控制。
外工院艺交通路线
产品走"分质提取 → 预进行处理除杂 → 物理化学发展除镍 → 过滤清洁 → UF+多级RO → MVR强制性循环系统蒸发掉 → 冷凝水水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢腐蚀钠转换成Ni(OH)₂石雕文化沉淀,再加上塑炼橡胶钠宽度气体吸附残存镍(塑炼橡胶镍Ksp比氢腐蚀镍更小,里能镍压到0.1毫克/升下列);
沉淀物溢水经多媒介脱水+保卫脱水后进UF,再进1级RO,产水间接回产线擦拭;
RO浓水(含盐+残渣巨资属)进MVR禁止配置往复冷却器器,禁止配置往复能扛高含盐水垢,冷却器器自己带上手机在线擦洗,不容易堵;
MVR蒸汽加热水变回使用洗手池,减压蒸馏残液委外填埋或是危险废弃物救治,一整块园区无液体外排。
关键点设备的优点表示
MVR被迫无限再循环相对常见降膜挥发,无限再循环流体密度高、对流传热面难以结镍盐/碳酸盐垢,适用于公测这一"蓄水量太大但水质检测杂"的动画场景;三合一化撬装设计的拆迁赔偿比普通挥发塘+多效挥发实施方案小60%这些;臭味侧一起海洋生物滤池,把改善池和废水间的臭味持续后生物降解成CO₂和水,预防公测厂挨着辦公区的特殊难闻气味投诉信。
治理 结果与作用
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《真空镀膜影响物产生标准化》表三;彻底150万每立方/天产水回收利用于首测产线清洁工作,带替等量剥好水;垃圾(减压蒸馏残液+污泥处理)量比民俗"积累+产生"状态减约70%。对富士康侧,首测业务节能准入的卡点挨打通;